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市場(chǎng)主要磁懸浮分子泵生產(chǎn)商包括真空、Atlas(Edwards&Leybold)、大阪真空機器制造所、和等,按收入計,2021年大廠(chǎng)商占有大約%的市場(chǎng)份額。從產(chǎn)品泵速方面來(lái)看,低于1500升/秒占有重要地位,按收入計,2021年市場(chǎng)份額為%,預計2028年份額將達到%。同時(shí)就應用來(lái)看,半導體行業(yè)在2028年份額大約是%,未來(lái)幾年CAGR大約為%。
根據不同產(chǎn)品泵速,磁懸浮分子泵細分為:
低于1500升/秒
1500到3000升/秒
高于3000升/秒
根據不同應用,本文重點(diǎn)關(guān)注以下領(lǐng)域:
半導體行業(yè)
光伏行業(yè)
鍍膜行業(yè)
其他
渦輪分子泵的工作特性主要表現在以下幾個(gè)方面:
(1)抽速與轉速的關(guān)系抽速與轉速之間的關(guān)系大致為S(4-67)。其中:g是由幾何形狀決定的常數;u是活動(dòng)刀片的轉速。隨著(zhù)速度的增加,泵送速度比直線(xiàn)略慢。這可以通過(guò)在抽速較高時(shí)對進(jìn)氣管電導率的限制來(lái)解釋。根據(4-66),隨著(zhù)S1的增加,S將偏離直線(xiàn)。
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渦輪分子泵的工作特性主要表現在以下幾個(gè)方面:壓縮比與前一階段壓力之間的關(guān)系泵選擇機械泵作為前級泵。當當前級壓力滿(mǎn)足一定要求時(shí),分子泵穩定工作,減壓比保持恒定。如圖464所示,當當前級壓力升至1Pa時(shí),子壓縮比開(kāi)始降低,而當當前級壓力升至數十帕斯卡時(shí),壓縮比急劇下降,分子泵無(wú)法正常工作。
抽速與氣體類(lèi)型之間的關(guān)系。所示的關(guān)系是,該變化比直線(xiàn)稍慢。這是因為,在旋轉速度下,P較大的氣體具有較大的速度比,因此葉片的Hoe系數較大,但是它們在進(jìn)氣管中的電導率是由于增加和減少。渦輪分子泵是利用高速旋轉的動(dòng)葉輪將動(dòng)量傳給氣體分子,使氣體產(chǎn)生定向流動(dòng)而抽氣的真空泵。
渦輪分子泵的優(yōu)點(diǎn)是啟動(dòng)快,能抗各種射線(xiàn)的照射,耐大氣沖擊,無(wú)氣體存儲和解吸效應,無(wú)油蒸氣污染或污染很少,能獲得清潔的超高真空。渦輪分子泵廣泛用于高能、可控熱核反應裝置、重粒子以及真空鍍膜等需要獲得高真空度制造工藝中。
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隨著(zhù)各應用領(lǐng)域技術(shù)要求的不斷提高,在渦輪分子泵系列方面持續開(kāi)發(fā),擁有抽速介于10到超過(guò)3000升/秒的完整渦輪分子泵產(chǎn)品系列,具有很高的和靈活的安裝方式,從而使得各類(lèi)應用,比如分析儀器、半導體、光學(xué)/玻璃、冶金、泄漏檢測、科研設施、燈具等行業(yè),都能找到與之匹配的訂制產(chǎn)品型號。
尤其是此次推出的渦輪分子泵,使用了技術(shù),特別適用于對振動(dòng)敏感的應用。該技術(shù)能更有效地測試渦輪分子泵轉子的平衡性能,確保了在這一領(lǐng)域的技術(shù)優(yōu)勢,并且為該公司的下一步發(fā)展提供了技術(shù)前瞻。所有的生物分子泵都是自催化系統,通過(guò)利用其催化分解化學(xué)燃料所釋放的能量來(lái)維持細胞的生命活動(dòng)。迄今為止已經(jīng)報道了一些人工分子泵,但它們都是以光為驅動(dòng)力燃料,或需要連續添加試劑或改變電勢來(lái)維持運行。
在此,作者報道了一種催化驅動(dòng)的人工分子泵,在“燃料”的存在下,能連續地將冠醚大環(huán)化合物從溶液中“串”到分子軸上,且不需要進(jìn)一步的干預。只要有未反應完的“燃料”的存在,該過(guò)程就能一直進(jìn)行。燃料全部消耗完后,冠醚會(huì )從不平衡的[4]輪烷上脫落,體系轉變成很低能量的起始離散狀態(tài)。該工作利用催化作用來(lái)驅動(dòng)人工分子泵,在催化和分子機械層面開(kāi)辟了新的研究方向。
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